| 测针的触发方向 | ±X，±Y，+Z |
| 测针的各向触发保护行程 | X-Y±12°, Z +5 mm |
| 测针任意单向重复触发精度（2σ） | ≤ 1 μm |
| 测针Z向触发力 | 1000（g） |
| 测针X-Y平面触发力（标配测针） | 60-130（g） |
| 输入电压 | 24V±10%（DC） |
| 输出负载电流 | 50mA |
| 防护等级 | IP 68 |
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